技術情報Technology

TOP > 技術情報

SuperOx Japan
合同会社における
2G HTS線材作製の
鍵となる技術は、

マグネトロンスパッタによるMgO-IBAD組成形成プロセス、
PLDによるGdBaCuO
超電導膜の形成です

マグネトロンスパッタ

マグネットを用いて磁場の中に電子を囲い込むことで濃いプラズマ領域を作り、アルゴン原子がターゲットに衝突する確率を高め、基板に付着するスピードをUPさせることが出来ます。

PLD

Pulsed Laser Depositionの略。薄膜を作製する装置。レーザーを1秒間に数回ターゲットに打ち付けて物質を蒸発させて基板まで飛ばし、堆積させる事で薄膜になります。

 

IBAD

イオンアシスト蒸着法:IBAD法(Ion Beam Assisted Deposition 法)は1991年に開発された、アシストイオンビームをある角度から照射することで特定の方位を向いた結晶だけが成長すること成膜することで面内配向した中間層を作成できる方法であり、それは超電導線材の基板として用いることができます。

長さ700mの次世代高温超電導を開発

SuperOx Japanでは、現在700mの長さで臨界電流が700Aの次世代高温超電導(2GHTS)テープを作製することができるようになり商業品質の2G HTSワイヤーの量産は、長さ250-300m、Ic400A (12mmテープ)が可能です。製造された超電導線は臨界電流Icは長さ方向に非常に均質性に優れています。

2G HTS線材の構造

SuperOxJapanで開発した超電導線材は、マグネトロンスパッタとパルスレーザ蒸着(PLD)を組み合わせることで、柔軟性に優れた線材を効率よく生産することが可能です。
当社の年間生産量は約100kmとなっています。

ACCESSアクセス情報

本社・工場

〒252-0132
神奈川県相模原市緑区橋本台2-3-19

TEL:042-707-7077

R&D 部門

〒252-0243
神奈川県相模原市中央区上溝1880-2
SIC3さがみはら産業創造センター

TEL:042-707-9196

化学部門

〒252-0243
神奈川県相模原市中央区上溝4487-6
(株)テクノイースト内

TEL:042-707-7077